Распыление кристаллов при бомбардировке моно- и полиатомными ионами

Книга посвящена проблеме исследования поверхности с использованием методов вторично-ионная масс-спектрометрия (ВИМС) и оптическая микроскопия (ОМ), которые дают реальную информацию об элементном составе поверхности. Экспериментально доказана немонотонная зависимость выхода вторичных ионов от изменения температуры мишени, что связано с различными режимами распыления, в результате изменения концентрации адсорбированного фтора и примесных атомов на поверхности. При полиатомной бомбардировке степень эрозии поверхности многокомпонентных монокристаллов возрастает в результате образования плотных скоплений ямок травления, что коррелирует с повышенным удалением материала мишени в виде атомарных и молекулярных ионов. Полученные результаты позволят разработать новые методики анализа и травления поверхности диэлектриков и полупроводников. Книга предназначена специалистам в области физика поверхности, физической электроники ,микроэлектронике, а также студентам старших курсов соответствующих специальностей.